[전자재료실험] MOS Capacitor

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• [전자재료실험] MOS Capacitor
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• 2012.05.09
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  실험: Dry etching 1. 실험 목적 MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 Photolithography 공정을 실시한 후 Si기판을 플라즈마를 이용하여 식각하는 공정인 Dry etching 을 실시하며 FE-SEM을 이용하여 SiO2 inspe..
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