MOS Capacitor의 제작 방법과 특성와 C-V등을 측정
MOS Capacitor의 제작 방법과 특성와 C-V등을 측정
◉ 실험 날짜:
날 씨 : 맑음
온 도 : 27°
습 도 : 43%
1. 실험 목적
- MOS Capacitor의 제작 방법과 특성을 알아본다.
C-V 등을 측정하여 원리를 이해한다.
2. 관련 지식
관련 parameters : Tox NA, ND, VFB, VT, Qf(Nf), Qm(Nm), Qit(Nit)
MOS capacitor
C-V 장치
Metal-oxide-P type Silicon
MOS Caoacitor는 전계를 이용한 소자중 하나이며, 그래서 일반적으로 MOSFET(Metal-Oxid e-Semiconductor Field-Effect-Transistor)라고 불린다. 단자수에서 같이 3단자 소자인 BJT와는 달리 MOSFET에서는 다수캐리어에 의해 전류가 조절되며, 하나의 캐리어만을 쓰게 되어 단극성(unipolar) 소자라고도 한다. 그리고 MOSFET은 제어전압(Gate voltage)이 기판의 종류가 p-type인 경우에는 순방향 전압으로 n-type인 경우에는 역방향 전압으로 쓰이며, 전도상태와 비전도상태 사이에서 제어되는 스위칭작용을 시키는 데 매우 적합해서 디지털회로에서 유용하게 사용된다. 또한 공정상으로는 BJT보다 단위 면적당 작업 면적이 훨씬 적어서 대규모 집적회로(VLSI)설계시 많은 비중을 차지하고 있다. 그럼 MOSFET의 소자내에서 벌어지는 내부 작용에 대해서 알아보도록 하자.
(1) 기본동작
....
날 씨 : 맑음
온 도 : 27°
습 도 : 43%
1. 실험 목적
- MOS Capacitor의 제작 방법과 특성을 알아본다.
C-V 등을 측정하여 원리를 이해한다.
2. 관련 지식
관련 parameters : Tox NA, ND, VFB, VT, Qf(Nf), Qm(Nm), Qit(Nit)
MOS capacitor
C-V 장치
Metal-oxide-P type Silicon
MOS Caoacitor는 전계를 이용한 소자중 하나이며, 그래서 일반적으로 MOSFET(Metal-Oxid e-Semiconductor Field-Effect-Transistor)라고 불린다. 단자수에서 같이 3단자 소자인 BJT와는 달리 MOSFET에서는 다수캐리어에 의해 전류가 조절되며, 하나의 캐리어만을 쓰게 되어 단극성(unipolar) 소자라고도 한다. 그리고 MOSFET은 제어전압(Gate voltage)이 기판의 종류가 p-type인 경우에는 순방향 전압으로 n-type인 경우에는 역방향 전압으로 쓰이며, 전도상태와 비전도상태 사이에서 제어되는 스위칭작용을 시키는 데 매우 적합해서 디지털회로에서 유용하게 사용된다. 또한 공정상으로는 BJT보다 단위 면적당 작업 면적이 훨씬 적어서 대규모 집적회로(VLSI)설계시 많은 비중을 차지하고 있다. 그럼 MOSFET의 소자내에서 벌어지는 내부 작용에 대해서 알아보도록 하자.
(1) 기본동작
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[전자재료실험] MOS Capacitor
- 목차 - 1. 실험 목적 ··· p. 2 2. 실험 배경 ··· p. 2 3. 실험 이론 ··· p. 2 ① Si의 특성 ··· p. 2 ② MOS Capacitor ··· p. 3 ③ E-Beam의 구조와 증착원리 ··· p. 8 4. 실험 방법 ··· p. 9 5. 결과 예측 ··· p.. -
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