4학년 1학기, '반도체 공정 및 실험' 과목에서 팀 프로젝트를 진행하게 되었습니다.
이 경험을 통해 공정 문제는 단순히 장비나 조건의 물리적 조정만으로 해결하기보다는, 데이터 기반의 예측과 분석이 결합될 때 훨씬 정밀하고 예측 가능한 방향으로 개선이 가능하다는 확신을 가질 수 있었습니다.
Q2. 새로운 기술이나 방식을 도입해 공정상의 문제를 해결한 사례가 있나요?
캡스톤 디자인 프로젝트에서 식각공정 후 패턴 손상 문제가 반복되자, 기존 방식 대신 하이브리드 식각 조건을 제안한 적이 있습니다.
저는 반도체 공정 중 식각 기술에 대한 이해를 심화하기 위해 꾸준히 자료를 수집하고 정리했습니다.
이를 바탕으로 졸업 논문 주제를 '패터닝 공정에서의 비등방성식각 조건 분석'으 로선 정해 실험과 시뮬레이션을 병행하며 작성했습니다.
팀 프로젝트 중리소그래피 공정에서 반복되는 불량 문제를 해결하기 위해 팀원들과 역할을 나누어 원인을 분석한 경험이 있습니다.
가장 중요한 역량은 복잡한 공정 흐름 속에서 원인을 정확히 추적하고, 최적의 대응책을 신속히 마련하는 문제 해결 능력이라고 생각합니다.
목표는 열산화법과 화학적 습식산화를 비교해 산화막두께의 균일성 차이와 전기적 특성차이를 직접 측정·분석해 보는 것이었습니다.
문제를 해결하기 위해 실험 전 웨이퍼클리닝을 RCA 방식으로 세분화하였고, 산화 조건도 정확히 제어하기 위해 자동 타이머를 별도 구성하여 인위적 오차를 줄였습니다.
이후 다시 측정한 산화막두께는 5nm 이하의 오차범위를 보였고, 화학적 습식산화와 도 비교했을 때 열산화가 표면균일도 측면에서 더 우수한 결과를 확인할 수 있었습니다.
단순히 수업과제를 수행하는데 그치지 않고, 스스로 난이도를 높인 목표를 설정하고 실험설계부터 데이터 분석까지 전 과정을 책임지고 추진했던 경험이었습니다.
저는 분석 방식을 바꾸어 머신 러닝 기반 회귀 분석 모델을 활용해 수십개의 공정변수 중 불량률에 영향을 미치는 핵심 요소를 추출하고자 했습니다.
이후에도 반도체 공정제어, 품질관리 등의 과목에서 데이터 기반의사결정 기법을 지속적으로 학습하며 이와 같은 문 제 해결력을 강화해왔습니다.
실습기반 학습을 통해 CVD와 PVD의 차이, 플라즈마 밀도 조절의 의미, 식각공정에서의 선택비와 애니스로 피의 트레이드 오프를 중심으로 이론을 정리했고, 수업 외에도 관련 논문을 바탕으로 플라즈마 진단기법, 플루오린계가스의 식각특성 비교 등 실무논문 을 스스로 번역하며 전문성을 쌓았습니다.
추가적으로 해당 기술을 공정제어 관점에서도 이해하고자 '센서 기반 공정 모니터링'에 관심을 가졌고, 이후 Python기반의 공정조건 예측 시뮬레이션 코드를 작성하여 데이터 기반 예측기법을 연습했습니다.
이와 같은 흐름에서 전문성을 확장하기 위해 꾸준히 보고서를 작성하며 정리해왔고, 반도체 공정 중 주요 불량 케이스와 그에 따른 rootcause 분석 사례도 데이터베이스화해왔습니다.
캡스톤 디자인 프로젝트에서 식각공정 후 패턴 손상 문제가 반복되자, 기존 방식 대신 하이브리드 식각 조건을 제안한 적이 있습니다.
저는 반도체 공정 중 식각 기술에 대한 이해를 심화하기 위해 꾸준히 자료를 수집하고 정리했습니다.
팀 프로젝트 중리소그래피 공정에서 반복되는 불량 문제를 해결하기 위해 팀원들과 역할을 나누어 원인을 분석한 경험이 있습니다.
저는 팀원들과 협력해 세정조건, 회전 속도, bake온도 등을 체계적으로 변경하며 매실험마다 로그를 기록해 비교분석했습니다.
그제야 팀원들도 변경 조건의 타당성에 공감했고, 이후 해당 조건으로 실험을 진행하여 더 나은 식각균일도를 확인할 수 있었습니다.
무엇보다 유사한 문제가 반복되지 않도록 표준 프로토콜을 문서화하고, 공정조건 변경 시에는 검증 단계를 반드시 확보하는 것이 중요하다고 봅니다.
가장 중요한 역량은 복잡한 공정 흐름 속에서 원인을 정확히 추적하고, 최적의 대응책을 신속히 마련하는 문제 해결 능력이라고 생각합니다.
저는 다양한 프로젝트에서 이러한 복합적 문제를 협력과 분석으로 해결한 경험이 있으며, 이를 바탕으로 실무에서 빠르게 적응하고 성과를 만들 수 있다고 생각합니다.
Q8. 본인이 생각하는 반도체 공정의 가장 큰 어려움은 무엇이며, 어떻게 극복할 수 있다고 생각하나요?
공정엔지니어는 입사 후 수많은 장비와 레시피, 공정변수들을 단기간에 익혀야 하기 때문에, 사전 학습과 마인드셋이 중요하다고 생각합니다.