반도체공학 실험 - Annealing(Silcidation) 실험: Annealing(Silcidation)
1. 실험 목적
MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 Metal deposition 을 실시한 후 실리콘 기판 위에
규소화합물(Silicide)를 구성하기 위하여 내열성 금속과 실리콘을 합금하는 과..
화학공학 - 열풍 온도 제어 시스템 1. 서 론
열풍 온도 제어 시스템의 여러 종류를 실행함으로써 각각의 제어 시스템의 특성을 이해한다.
가. ON-OFF control
나. ON-OFF control with Hysteresis(자기이력현상을 갖는 on-off control)
다. Prop..
실험보고서 - 열풍온도제어에 대해 1. 서 론
열풍 온도 제어 시스템의 여러 종류를 실행함으로써 각각의 제어 시스템의 특성을 이해한다.
가. ON-OFF control
나. ON-OFF control with Hysteresis(자기이력현상을 갖는 on-off control)
다. Prop..
화학공학 실험 - 열풍온도제어 실험 1. 서 론
열풍 온도 제어 시스템의 여러 종류를 실행함으로써 각각의 제어 시스템의 특성을 이해한다.
가. ON-OFF control
나. ON-OFF control with Hysteresis(자기이력현상을 갖는 on-off control)
다. Prop..
화학공학 실험 - 열풍온도제어 1. 서론
(1) ON-OFF control
ON-OFF control 제어 시스템 이해
(2) ON-OFF control with Hysteresis
relay amplifier를 사용하여 hysteresis를 갖는 on-off 제어특성을 이해하는데 있다.
(3) proportional contr..
[실험보고서] 온도계측 - PC를 사용한 가열로의 온도계측 및 제어 1. 실험 목적
이 실험에서 사용하는 온도 제어 시스템은 간단한 가열로, 개인용 컴퓨터(제어 및 신호 계측용 pc), 열전쌍, 신호 변환기 및 전력 제어기로 구성된다. 온도 제어 법칙으로는 온-오프 제어, 비례 제..