ITO에 대한 기본적인 이론을 숙지하고, 직접 제작을 통해 제작 과정과 막 특성 평가를 통해 실제 ITO와의 차이를 비교해보고 고찰하자.
2. 실험 관련 이론
▒ 스퍼터링
스퍼터링은 스퍼터링 가스를 진공챔너 내로 주입하여 박막으로 입힐 타겟물질과 충돌시켜 플라즈마를 생성시킨 후 이를 기판에 증착시키는 방법이다. 일반적으로 사용되는 스퍼터링 가스는 Ar을 사용한다. 스퍼터 장치는 음극에 타겟을, 양극에 기판을 연결한다. 전원을 공급하면 주입된 스퍼터링 가스(Ar)는 음극 쪽에서 방출된 전자와 충돌하여 여기상태의 Ar+로 되고 이 여기된 가스는 음극인 타겟 쪽으로 끌리며 충돌하고 플라즈마가 발생한다. 절연체와 같은 부도체는 교류 전원을 사용하여 박막을 만드는데, 교류전원은 13.56 ㎒의 주파수를 가지며 이를 RF라 한다. 이러한 교류 전원을 사용하는 스퍼터링 법을 교류스퍼터링(RF sputtering)이라 한다.
▒ ITO
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전자현미경 원리 및 시편준비 1. 실험의 목적
재료의 표면을 현미경으로 관찰하면 석출상이나 결정립의 크기 및 형상 등을 판단할 수 있다. 광학 현미경이 배율 X 2,000 이하의 이미지를 얻을 수 있는데 비해 일반적으로 사용되는 주사전자현..
thin film[박막]에 대한 정의와 제조방법 정리 1. What is a thin film
thin film(박막)이란
박막은 나노미터에서 마이크로미터 두께까지의 범위를 포함하는 얇은 물질 층이라고 할 수 있다. 전자기적 반도체 장치와 광학적 코팅은 박막기술의 주된 적용 범위..
산화제일구리박막을 이용한 태양전지 산화물 연구 산화제일구리박막을 이용한 태양전지 산화물 연구
목차
서론
실험장비
시료제작
결과분석
요약 및 결론
서론
Cu2O
P-TYPE 반도체
Band Gap 2.1~2.6eV
Simple cubic
gas sensor, electrochromic
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진공박막 실험 목차
1.서론 -①목적
-②이론
2.기구 및 방법
3.결과값
4.검토 및 토의
5.결론
1.서론
①목적
진공과 박막을 제작하고 개념을 이해한다.
· 진공의 개념을 이해하고 만드는 원리를 이해한다.
· 진공 측정 원..