1. 원리
①SEM(주사전자현미경) - SEM은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데 가장 다양 하게 쓰이는 분석기기이다. SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용 이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 이 SEM 은 전자가 표본을 통과하는 것이 아니라 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만 굴절되고 표 면에서 발생된 이차 전자는 검파기(detector)에 의해 수집된다. 그 결과 생긴 신호들이 여 러 점으로부터 모여들어 음극선관(CRT)에 상을 형성하게 된다. SEM의 특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰할 수 있다는 것이다. 전자 beam을 시 료 위에 주사시켜서 시료로부터 튀어나온 2차 전자를 모아서 검출한 후 여러 가지 복잡한 기계장치를 거친후 CRT에 영상화 시키는 전자현미경이다. 검출기는 Scintillater 라고도 하 는데 Scintillater로 검출된 2차 전자는 광전 중배관으로 운반되어 여기서 신호가 증폭 된 후 다시 video amplifier 에서 영상신호 증폭을 거친 후 CRT에서 관찰하게 된다.
②TEM(투과전자현미경) - 전자현미경에서의 광원은 높은 진공 상태(1x10-4 이상)에서 고속 으로 가속되는 전자선이다. 전자선이 표본을 투과하여 일련의 electromagnetic field 또는 electrostatic field을 거쳐 형광판이나 사진필름에 초점을 맞추어 투사된다.
2.구조
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