1. 포토리소그래피(Photolithography)
ⅰ) 포토리소그래피(Photolithography)란
Photolithography 공정은 어떤 특정한 화학약품(Photo resist)이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변하는 월리를 이용하여, 얻고자 하는 patten의 mask를 사용하여 빛을 선택적으로 PR에 조사함으로써 mask patten과 동일한 patten을 형성시키는 공정이다. Photolithography 공정은 일반사진의 film에 해당하는 photo resist를 도포하는 PR 도포공정, mask를 이용하여 선택적으로 빛을 조사하는 노광공정, 다음에 현상액을 이용하여 빛을 받은 부분의 PR을 제거하여 patten을 형성시키는 현상공정으로 구성된다.
Photolithography 공정은 모든 공정 step이 각종 particle에 대해 매우 취약하고, 이로 인한 pattern 불량이 전체 panel의 불량을 유발하므로, 청정한 환경과 재료 및 장비의 관리가 보다 중요한 공정이며, 향후 TFT 제작공정의 고정밀, 대면적화에 따라서 그 중요성이 더욱 커지는 공정이다.
ⅱ) 포토리소그래피(Photolithography) 공정 과정
a) Photoresist(PR) coating
Wafer 표면에 PR도포
※ 도포방식
- Dipping
- Spray
- 룰러
- Spin
※ 영향을 주는 요인
- 점성계수, 다중체 함량,
스핀속도와 가속, 표면청결도
감광막의 두께
형성될 상의 최소 크기 결정 요인
....
일반물리학 실험 - 중력 가속도 실험 일반물리학 실험 - 중력 가속도 실험
(1) 실험 제목
- 중력 가속도 실험
(2) 실험 목적
- 기울기의 변화에 따라 속도의 변화가 있을 때 중력가속도의 속도에도 변화가 있는지 없는지를 알아보기 위한 실험이다..
실험보고서 - 포물선 운동(Projectile motion) 제목 : Projectile motion
▶ 실험 목적
● 두개의 포토게이트를 사용하여 공의 속도를 측정한다.
● 포물선 운동에서 공의 낙하위치를 측정하기 위해서 2차원 운동학 측면에서 생각해본다.
▶ 실험 이론
- Chapte..
일반물리학 실험 - 투사체 운동 1. 실험 제목 : 투사체 운동
2. 실험 목표
◎2개의 포토게이트를 써서 공의 속도를 측정한다.
◎2차원 운동의 개념을 써서 투사체의 충돌 지점을 예측한다.
◎몇 번의 속도 측정 결과의 차이에 따른 충돌예상 지점을 ..
[물리실험보고서] 충돌 및 운동량 보존 실험 결과 보고서
․ 실험 목적
충돌하는 두 물체의 운동을 통하여 운동량이 보존됨을 확인하고 역학적인 에너지도 보존됨을 확인한다.
․ 이론
입자의 운동량은 계에 작용하는 외부의 힘의 합력이 0일 때 계..
물리와 실험 - 운동량 보존 물리와 실험 - 운동량 보존
1.실험제목
-운동량 보존
2.실험목적
-운동하는 두 물체(글라이더)가 충돌 전후로 전체 선운동량이 보존됨을 확인한다.
3.관련이론
-어떤 물체가 충돌 시 외부에서 다른 힘이 작용하..
[물리실험] 운동량의 보존 [운동량의 보존]
1. 실험 목적
운동량의 개념을 이해시키고 에어트랙 위에서 두 개의 글라이더가 충돌할 때 운동량이 보존됨을 실험을 통하여 증명한다.
2. 실험 원리
물체가 충돌할 때, 즉 기관차나 쇼핑 카트..