[방사선] X -ray Photoelectron Spectroscopy [XPS]재료 분석법
[방사선] X -ray Photoelectron Spectroscopy [XPS]재료 분석법
X -ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)
1. 분석 목적
전자, 광자 혹은 입자들이 시료의 원자들과 상호작용한 결과 발생하는 전자, 광자, 이온 또는 중성 원자 등을 분석함으로써 표면에 대한 정보와, 결합에너지의 변화로부터 표면원소의 화학적 상태에 대해 알 수 있다.
2. 분석 원리
일정한 에너지의 광자를 원자나 분자에 쬐면 들뜬 이온과 광전자가 발생한다. A: 원자나 분자, A+*: 여기된 이온, hv: X-선 광자의 특성에너지, e-: 광전자라고 할 때,
A + hv → A+* + e-
이때 방출된 광전자의 운동에너지는 분석기와 검출기에서 정확히 측정된다. 방출된 광전자의 운동에너지 Ek는 X-선 광자의 특성에너지 hv에서 core 준위의 결합에너지 Eb와 분광계의 일함수 를 뺀 값이 된다.
Ek = hv - Eb -
조사된 광전자의 에너지(hv)는 알 수 있으며, Ek와 이 측정 가능함으로써, 원자 내에서의 전자의 결합에너지(Eb)가 계산된다. 이 결합에너지는 원자의 고유한 값(예: C1s전자 284eV, O1전자 532eV, Si 2p3/2 99eV 등) 을 갖기 때문에 표면에서 방출되는 광전자의 스펙트럼을 관측함으로써 표면의 조성, 화학적 결합상태 및 구성원소를 정량 분석할 수 있다.
3. 분석 방법과 분석 장비
· X-선원 (X-ray source)
X-선원은 모든 원소로부터 강한 photoelectron peak를 방출할 수 있을 만큼 충분히 큰 photo energy 여야 한다.
· 시료준비
XPS에서 분석할 수 있는 시료 형태로는 고체, 액체, 기체들이나 진공문제 때문에 사용되고 있는 대부분이 고체 시료이다. 시료 준비는 청결한 실험실에서 장갑을 끼고 작업을 해야 하며 시료 주입 후에도 항상 spectrometer의 chamber은 초고진공 유지를 위하여 신경을 써야한다.
....
1. 분석 목적
전자, 광자 혹은 입자들이 시료의 원자들과 상호작용한 결과 발생하는 전자, 광자, 이온 또는 중성 원자 등을 분석함으로써 표면에 대한 정보와, 결합에너지의 변화로부터 표면원소의 화학적 상태에 대해 알 수 있다.
2. 분석 원리
일정한 에너지의 광자를 원자나 분자에 쬐면 들뜬 이온과 광전자가 발생한다. A: 원자나 분자, A+*: 여기된 이온, hv: X-선 광자의 특성에너지, e-: 광전자라고 할 때,
A + hv → A+* + e-
이때 방출된 광전자의 운동에너지는 분석기와 검출기에서 정확히 측정된다. 방출된 광전자의 운동에너지 Ek는 X-선 광자의 특성에너지 hv에서 core 준위의 결합에너지 Eb와 분광계의 일함수 를 뺀 값이 된다.
Ek = hv - Eb -
조사된 광전자의 에너지(hv)는 알 수 있으며, Ek와 이 측정 가능함으로써, 원자 내에서의 전자의 결합에너지(Eb)가 계산된다. 이 결합에너지는 원자의 고유한 값(예: C1s전자 284eV, O1전자 532eV, Si 2p3/2 99eV 등) 을 갖기 때문에 표면에서 방출되는 광전자의 스펙트럼을 관측함으로써 표면의 조성, 화학적 결합상태 및 구성원소를 정량 분석할 수 있다.
3. 분석 방법과 분석 장비
· X-선원 (X-ray source)
X-선원은 모든 원소로부터 강한 photoelectron peak를 방출할 수 있을 만큼 충분히 큰 photo energy 여야 한다.
· 시료준비
XPS에서 분석할 수 있는 시료 형태로는 고체, 액체, 기체들이나 진공문제 때문에 사용되고 있는 대부분이 고체 시료이다. 시료 준비는 청결한 실험실에서 장갑을 끼고 작업을 해야 하며 시료 주입 후에도 항상 spectrometer의 chamber은 초고진공 유지를 위하여 신경을 써야한다.
....
-
무기화학실험 - XPS[ESCA]의 원리와 특성, XPS 장치에 대해서
무기화학실험 - XPS(ESCA)의 원리와 특성, XPS 장치에 대해서 XPS(X-ray photoelectron spectrometer) ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) 초고진공 중에 위치한 고체 표면에 특성 X-ray를 조사.. -
의료용방사선기기의 분기별 시장동향
Component for X-ray apparatus, Component X-ray apparatus, Component, X-ray apparatus, X-ray, apparatus, 의료, 의료기기, 의료용기기, 엑스레이, X-레이, 엑스-레이, X레이, 의료용, 방사선, 기기, 의료용엑.. -
의료용방사선기기의 월별 시장동향
Component for X-ray apparatus, Component X-ray apparatus, Component, X-ray apparatus, X-ray, apparatus, 의료, 의료기기, 의료용기기, 엑스레이, X-레이, 엑스-레이, X레이, 의료용, 방사선, 기기, 의료용엑.. -
06년 국내 의료용방사선기기의 시장동향(2000년부터 2006년4분기까지) [PDF]
본 컨텐츠는 시장조사, 수요예측 전문업체인 ㈜밸류애드에서 의료용방사선기기에 대한 시장동향 정보입니다. 작성일자를 반드시 확인하시고, 최근에 작성된 정보를 구매하시기 바랍니다. 본 컨텐츠에서는 세.. -
[방사선 기기학] XRD 개념 원리
[방사선 기기학] XRD 개념 원리 1. X선(X-Rays) 이란 X선(X-Rays)의 전자기파이며 파장은 대략 0.01Å ~ 100Å (108 [Angstrom] = 1 cm) 이고 빛과 비슷하나 짧은 파장 때문에 다른 성질도 갖고 있다. 1) X선(X-.. -
[방사선 기기학] The method of X-ray scanning[XRD 스캔방법]
[방사선 기기학] The method of X-ray scanning[XRD 스캔방법] 1.Laue 법 Laue 법은 처음으로 사용한 회절법이며 Laue 경의 본래 실험을 재현한다. 이 방법에서는 x선 관에서 나온 연속스펙트럼인 백색 x선을 .. -
[발표과제] 과학도서 발표 - 방사능 물질
방사능 물질 과학독서 발표 방사능 물질 탐구 주제 방사능 물질의 정의 방사능 물질의 발견과 단위 원자의 구성요소와 동위원소 공기오염의 척도 라돈 1234 방사능 물질 방사능 물질이란 무엇인가 방사능 물질.. -
의학물리 - 적외선 체열 검사[Thermography]
적외선 체열 검사[Thermography] ◉적외선 체열 검사란 ☞인체표면에서 자연적으로 방출되는 미세한 적외선을 감지하여 촬영, 동통부위나 질병부위의 미세한 온도변화와 체온변화를 컴퓨터 그래픽화해 통증을 정확.. -
[고체물리] X- ray diffractometer [XRD] 의 구성
X- ray diffractometer (XRD) 의 구성 [1] 일반적으로 Generator, Goniometer, Monochromator, 검출기, 계수기록회로로 구성. 1. X-ray Generator (X선 발생장치) 1) X-ray Tube (X선관) : x선관은 열전자 2.. -
검사항목,검사방법,실시대상자및검진비용
[별표1] 검사항목, 검사방법, 실시대상자 및 검진비용 1. 1차검진 검사항목 분류번호 (코드) 실시대상자 검사방법 1. 건강검진 상담료 및 행정비용 ○ 진찰 및 상담 ○ 신장 및 체중, 비만도 ○ 시력,청력 ○ 혈압측정..
